半导体设备子系统、零部件与模块（SCM）报告，全球 WFE 零部件供应短缺。本土 SCM 供应商将在 1 至 2 个季度内补上当前缺口，对 2027 年设备出货无实质影响。本轮短缺为产能问题，而非技术壁垒问题。

一、短缺源于产能而非技术

对当前供应紧张的定性是：这不是结构性技术障碍，而是产能与客户认证节奏问题。

依据有三：国内 SCM 技术能力过去几年快速改善；海外零部件供应商已在激进扩产；国内晶圆厂与设备厂主动提高供应链韧性，认证本土供应商的意愿上升。

多数瓶颈预计在未来几个季度缓解，零部件短缺不影响 2027 年 WFE 出货，反而会加速高端零部件本土化。

二、本土化的两阶段切换

SCM 本土化分为两程：

第一阶段由地缘驱动，发生在 2024 年 4 月之前：国内设备厂认证日本、欧洲供应商，替换美国敞口。

第二阶段由短缺驱动：日本、欧洲供应商收紧本土产能，交货周期拉长，且新增产能优先分配给全球原厂设备厂，国内设备厂转而加速本土采购。

第一阶段完成的是去美国化，第二阶段替代的是日本、欧洲残余份额。

三、一家设备厂的供应链样本

中微公司 2025 年 ESG 报告披露的供应商结构，是第一阶段的注脚：大陆供应商数量占比从 2021 年的 44%，升至 2022 年 72%、2023 年 77%、2024 年 83%，2025 年达到 87%；同期欧洲与美国供应商占比从 26% 降至 6%、5%、3%，2025 年为 3%。

四年间，欧美份额从 26% 压缩到 3%，大陆份额从 44% 升至 87%。

四、需求与自给率测算

SCM 需求分两块：新装设备零部件 随 WFE 支出走，备件与服务 随 装机量走。

全球 WFE 支出：2026 年为 1540 亿美元，同比增长 30.6%；2027 年 2040 亿美元，增长 32.6%；2028 年 2590 亿美元，增长 27.0%。

中国 WFE 需求：2026 至 2028 年分别为 570 亿、730 亿、1010 亿美元，2025 至 2028 年复合增速 26%。

自给率方面：预计从 2026 年的 28% 升至 2027 年 37%、2028 年 52%。另据 Yole 数据，SCM 全球市场年规模约 550 亿美元，2026 年一季度环比增长 4.5% 至 153 亿美元。

按 2028 年 1010 亿美元需求与 52% 自给率测算，对应本土零部件采购约 525 亿美元。

五、替代重心移向高壁垒环节

报告把 SCM 分为两组：

1.高国产化组：结构件、石英、陶瓷、消耗品，依靠材料加工、机加工与制造规模，已被国内设备厂广泛接受，未来增长跟随 WFE 资本开支，不再是增量进口替代。

2.低国产化组：射频电源、真空系统、质量流量控制器（MFC）、静电卡盘（ESC）四大子系统，技术复杂度高、认证周期长，海外厂商仍占据份额。

这四类系统级部件直接影响工艺稳定性、设备产出与良率，是下一轮增量替代的主体。

六、射频电源：高附加值关卡

射频电源为刻蚀、PECVD、ALD 等等离子设备供电，价值量占设备成本比例不高，但决定等离子体均匀性与工艺良率，客户认证以工艺平台为单位，切换成本高。

全球供应集中于美国 Advanced Energy、MKS，瑞士 Comet PCT，德国 TRUMPF Hüttinger，日本 DAIHEN、Kyosan 等企业。

国内方面：

英杰电气从工业电源与功率控制切入半导体射频电源，为商业化成熟度较高的独立第三方供应商，2025 年收入 2.09 亿美元，毛利率 35%，后续增长看认证项目向刻蚀、沉积平台订单的转化；

恒运昌只面向半导体客户，研发阶段与设备厂联合开发，2025 年收入 0.74 亿美元，毛利率 48%；

北方华创射频能力以内部配套为主，集成于自家刻蚀、沉积平台。

国内厂商在射频电源已进入认证放量阶段，高端工艺验证仍在推进。

七、真空系统：阀规泵分层

1.真空阀门：瑞士 VAT 份额领先，日本 Fujikin、德国 Pfeiffer、美国 MKS 等占据其余位置。阀门动作寿命以百万次循环计，认证需跨多个工艺环境。国内新莱应材从高洁净流体延伸至真空阀门、管道与泵组件，客户覆盖较广；高凯技术聚焦真空阀门与压力控制。

2.真空规：格局比阀门分散，MKS、INFICON、Pfeiffer、Edwards 等共享份额。国内上海振太是较早一批做真空测量的厂商，认证进度靠前；新凯来、厦门米贝处于客户验证与放量阶段。

3.真空泵分三类：干式泵用于粗抽，覆盖 760 Torr 至 10⁻³ Torr 区间，国内商业化程度较高；涡轮分子泵（TMP）转速可达每分钟数万转，覆盖 10⁻³ 至 10⁻⁹ Torr 高真空区间，是国产化主攻方向；低温泵仍处早期。

国内中科科仪（非上市）出身中科院体系，为国内 TMP 厂商中承接进口替代定位较强的一家；汉钟精机从干式泵、压缩机切入，以制造规模与分销渠道见长；京仪装备专注 TMP；中科仪商业化阶段较早。

真空泵国产化分层明确：干式泵先行，TMP 主攻，低温泵尚在早期。

八、MFC 与 ESC：日厂守关

1.MFC 是气体输送控制点，流量精度以百分之零点几计，HORIBA、Brooks、Fujikin、Yokogawa 等日美厂商供应，认证后嵌入生产架构多年。

国内北方华创通过子公司生产 MFC；高凯技术覆盖气体与压力控制，2025 年收入 6.84 亿美元，2025 至 2028 年预期收入复合增速 32%；Compart Systems（非上市，富创精密通过 SPV 间接控股）做气体输送与流量控制。

2.ESC 在真空与等离子环境下固定晶圆，材料以氮化铝、氧化铝陶瓷为主，涉及陶瓷配方、埋入电极、热管理与工艺集成，日本京瓷、NGK、TOTO、NTK 占据主要份额。

国内珂玛科技为认证进度较远的本土厂商，已进入头部设备厂供应链，2025 年收入 1.49 亿美元，毛利率 52%；其他处于早期阶段。

两类部件一旦在产线认证通过，供应商极少更换，认证节点本身就是份额分水岭。

九、高国产化环节格局

石英部件：菲利华已进入主流供应，需求跟随晶圆厂扩产。

先进陶瓷：珂玛科技、三环集团在部分消耗品与结构件实现渗透，高端陶瓷仍由日本企业供应。

腔体与精密机加工：富创精密、先锋精科、华亚智能、江丰电子已具备规模化能力，部分厂商向子系统、腔体组件、集成模块延伸。

气体输送：新莱应材、正帆科技、富创精密已深度切入。

热管理：京仪装备、同飞股份供应陶瓷加热器、加热盘、温控单元。

晶圆搬运：鸣志电器、埃斯顿供应搬运机器人与运动控制系统。

这些环节的增长逻辑已是随 WFE 需求同步扩张，而非替代份额的再分配。

十、量产前的两道门槛

第一道是验证：演示线能用，不等于在头部设备厂量产线上合格；物料清单剩余 20% 至 30% 还要被晶圆厂接受，认证主体不止设备厂。

第二道是产能：包括量产爬坡的良率、产量，以及会操作设备的人。卡盘、加热器与腔体绑定，不能随意换机；资深工艺技术员的培养周期长于洁净室建设，纸面产能仍受人力约束。

本土化不是单一数字，各晶圆厂、各环节供需节奏不一，替代不会在全行业匀速发生。

十一、行业梳理

射频电源：英杰电气、恒运昌

设备平台（射频 / MFC 内部配套）：北方华创

真空阀门 / 气体输送：新莱应材

真空阀门 / MFC：高凯技术

真空泵：汉钟精机

真空泵 / 热管理：京仪装备

真空泵： 中科仪

ESC / 先进陶瓷：珂玛科技

先进陶瓷：三环集团

石英部件：菲利华

结构件 / 腔体：富创精密、先锋精科、华亚智能、江丰电子

气体输送：正帆科技

热管理：同飞股份

晶圆搬运：鸣志电器、埃斯顿

设备平台：中微公司、拓荆科技

风险提示：晶圆厂资本开支与本土化进度存不及预期风险。

知识星球| 每日更新最前沿投研头条

追踪市场动态，过滤信息噪音，捕捉预期差；

内置投研数据库，研报资料随时搜索、下载。

核心逻辑与深度解析在星球【Mark专栏】 

欢迎加入我们一起交流学习👇

分享投资思路与实战心得，建立学习圈层。

希望本星球的同学们热爱学习也热爱生活。