新思界行业分析人士表示，平面电机具有出力密度大、动态响应速度快、运动灵敏度高、定位精度高、发热损耗低等优点，在光刻机等高端制造领域扮演着关键角色。平面电机是光刻机超精密工件台的核心关键技术，ASML公司依托飞利浦公司磁浮平面电机核心技术，将动圈式磁浮平面电机应用于部分深紫外DUV光刻机以及极紫外EUV光刻机的工件台粗动台中，显著提升了光刻机运动控制精度与生产效率。